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          深圳市众联激光智能装备有限公司

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          激光调阻设备

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          精密激光调阻机设备

          精密激光调阻机设备

          产品分类:激光调阻设备

          产品说明:定制化:可针对客户产品不同的激光调阻应用要求,提供具有较高价值的产品解决方案。 ?调阻精度高:独特的测控技术,测量控制系统精度的一致性好,提升产品附加值;成品率高,单位成本下降。 ?软件可编程:可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行,也可作为专门的测试平台,适应性广。 ?使用成本低:采用了最先进的激光器,无耗材,使用成本最低,长期使用节约大量的费用。 ?多功能:可实现陶瓷基片的激光划线、打标,减少设备的再?#24230;搿??专业大理石基座,可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动,同时保持机台温度的稳定性,可靠性高。

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          • 产品介绍


          精密激光调阻机设备

          本机是针对传感器、精密电阻、数据采集卡等需要高精度信号输出的器件,专门开发的激光调阻设备,具有调阻精度高、刻线速度快、性能可靠、自动化程度高等特点。

          激光调阻机也叫做激光镭射切割系统,其工作原理:利用一束极细的激光束打在电阻上,通过对电阻体气化蒸发实?#20540;?#36335;的切割。激光束按计算机预定的程序切割电阻,通过改变电阻的几何形?#21019;?#32780;改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行,同时实时测量电路输出、使其电阻的阻值不断接近目标阻值,当电阻达到目标阻值后激光束关闭,即实现激光调阻过程。

          1.精密激光调阻系统及修调技术原理

             调阻是把一束聚焦的相干光在微机的控制下定位到工件上,使工件待调部分的膜层气化切除以达到规定?#38382;?#25110;阻值。调阻?#26412;?#37096;温升使玻璃熔化,气化部分阻值槽边缘受到玻璃覆盖,可填平基体表面被切割的介?#30465;?/span>
              先进的激光修调系统应用了大量的LSI、VLSI电路,以大部分的软件操作代替许多硬件功能。核心部分是通过硬件直接与激光器、光束定位、分步重复及测量等系统相连接。测量系统由采用精密电桥和矩阵组合的无源网络组成。

              激光修调系统具有多?#20013;?#35843;功能,可以修调混合集成电路、厚薄膜电阻器网络、电容网络、瓷基薄膜集成元件,还可以修调D/A和A/D转换器的精度,V/F转换器的频率,有源滤波器的零点频率及运算放大器的失调电压等。同时还具有IEEE488接口,可与其他测试设?#38468;?#34892;数据传输。
           ?#29627;?#28608;光修调系统主要包括以下几个部分: 
           (1)激光器部分
          采用稳定的进口激光器,厚膜修调最小光斑达30μm,脉冲重复频率为500Hz~100kHz。
          (2)光束定位系统 
          分为线性马达?#20581;?#24320;环和闭环检流计?#38477;取?#25511;制光束在X和Y?#36739;?#30340;位置、速度和加速度。缩短光束定位时间和修调时间,工作效率高。
          (3)程控衰减系统
          由多个衰减器组成,以控制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输出信号。
          (4)修调设定器
          它直接与激光器、光束定位器、分步重复台及测量系统相联接。它可以通过程序改变Q频率、刻蚀尺寸和改变切割的修调?#36739;潁?#20915;定阻值变化,而不影响精度。另外,还具有自动校正功能,在长期工作时可使修调设定值保持稳定。
          5)阻值及电压测定装置
          采用精密电桥和矩阵组合的测试无源网络,阻值测量精度可达0.01%,测量时间小于5ms。这种设计可以防止外界干扰,且由于采用差动测量,自动消除偏离及极性转换,还可用来测定有源电路修调时的直流电压。
          (6)自动功率测量系统
          激光器功率测量是利用最低限度的中断通过测量来测定。用微机控制螺形管驱动系统,激光束通过衰减器内的100%?#29943;?#38236;,射向热电偶器件,然后送到1个多量程功率计。
          切割图形
          ?#24120;?#28608;光调阻时,被切割的电阻体图形主要有以下几种:
          (1)单刀切割电阻法
          (2)双刀切割电阻法
          (3)L型刀口切割电阻法
          (4)交叉对切电阻法
          (5)曲线型L刀口的切法
          (6)曲线型U型刀口的切法
          在实?#20351;?#20316;中,主要应用的是前4种,对于不同的电阻应根据其方数的不同选择不同的刀口。其中双切和L型刀口最为常用,而?#19994;?#36807;的阻值稳定性好。 

          4.常用的调阻方法有喷砂、激光和电压脉冲调整:
          喷砂调阻?#21644;?#36807;喷射砂流对电阻基片进行打磨,使电阻浆料层受磨损,从而改变了电阻体的导电截面积和导电长度,而达到一定要求的阻值。是一种常规的调阻方案。
          喷砂调阻机设备价格较低,但调阻精度不易控制,速度较慢,不易于自动化及批?#21487;?#20135;。
          激光调阻?#21644;?#36807;短脉冲激光扫描切割电阻基片,使电阻浆料层受激光加热气化,形成一定深度的刻痕,从而改变了电阻体的导电截面积和导电长度,达到把低于目标阻值的电阻体修调到阻值?#24066;?#30340;偏差范围内,适用于片状电阻的快速大规模生产。
          激光调阻机价格较高,精度易控制,速度较快,且易于自动化及批?#21487;?#20135;,且能完成电路的功能调阻,目前是调阻的主流工艺。 
          激光精密加工在诸如薄膜电路的功能微调、压电石英谐振腔和单层滤波器的微调、光掩膜的修正、具有分布?#38382;?#30340;超高频电路的微调、光学度盘和分划板的刻制等工业领域将得到越来越广泛的应用。 
          激光调阻机根据市场要求,设计的BZL-SL12A系列机?#20572;?#21487;根据客户电路要求定功能及客户产品设制。 

          5.精密激光调阻系统调阻方案

          先进的激光微调系统(激光调阻设备、激光调电阻设备)主要包括以下几个部分: 
          (1)激光器部分
          采用进口光纤激光器,厚膜修调最小光斑达38μm,脉冲重复频率为500Hz~100kHz。
          (2)光束定位系统 
          分为线性马达?#20581;?#24320;环和闭环检流计?#38477;取?#25511;制光束在X和Y?#36739;?#30340;位置、速度和加速度。缩短光束定位时间和修调时间,工作效率高。
          (3)程控衰减系统
          由多个衰减器组成,以控制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输出信号。
          (4)修调设定器
          它直接与激光器、光束定位器、分步重复台及测量系统相联接。它可以通过程序改变Q频率、刻蚀尺寸和改变切割的修调?#36739;潁?#20915;定阻值变化,而不影响精度。另外,还具有自动校正功能,在长期工作时可使修调设定值保持稳定。
          5)阻值及电压测定装置
          采用精密电桥和矩阵组合的测试无源网络,阻值测量精度可达0.01%,测量时间仅为25μs。这种设计可以防止外界干扰,且由于采用差动测量,自动消除偏离及极性转换,还可用来测定有源电路修调时的直流电压。
          (6)自动功率测量系统
          激光器功率测量是利用最低限度的中断通过测量来测定。用微机控制螺形管驱动系统,激光束通过衰减器内的100%?#29943;?#38236;,射向热电偶器件,然后送到1个多量程功率计。
          简易型调阻方案:
          6.实现功能?#21644;?#36807;手动控制控针,对电组进行自动精密调节
          1、激光器及控制系统:进口光纤激光器激光器
          2、光学定位系统:XY自动控制
          3、阻值测量及控制系统
          4、手动控针
          7.标准型调阻方案:
          实现功能?#21644;?#36807;自动控制控针,对批量电组进行自动精密调节。
          1、激光器及控制系统:进口光纤激光器激光器
          2、光学定位系统:五维工作方式
          3、阻值测量及控制系统
          4、自动控针:自动上、下
          5、监控系统?#26680;?#36335;300万像素CCD监控
          6.在线功能调阻方案:

          7.激光调阻机的种类

          目前调阻机按功能可?#20540;?#32431;调阻及功能性调阻两类:
          单纯调阻:
          对电阻进行调节,调节至某一固定阻值,完成调阻。这类设备比较简单。
          功能性调阻:
          对某一电路中的电阻进行精密调节,使此电路模块完成相应的功能。此类设备比较复杂,且设备与电路要求相适应


           

          主要技术?#38382;?/span>


           

          激光系统

          型号规格

          ZL-TZ001

          激光波长

          1064nm

          激光功率

          20W

          典型光斑尺寸

          35±5μm

          对焦方式

          自动,计算机程序控制

          冷却方式

          风冷

          激光束定位系统

          激光束运动范围

          60mm X 60mm

          运动分辨率

          0.76μm

          重复定位精度

          ±5μm

          分步重复运动系统

          运动方式

          精密闭环XY平台

          运动范围

          300mm*300mm

          重复定位精度

          ±10μm

          最大运动速度(空载)

          180mm/s

          测量系统

          电阻测量方式

          四线制测量或二线制测量

          电阻测量精度

          中阻 ± 0.05%

          电阻测量范围

          0.1Ω-100MΩ

          测量速度

          25μs/

          零点及满程误差校正

          自动校正

          探针定义

          可编程?#25105;?#35774;定

          探针板运动

          自动,计算机程序控制

          采购:精密激光调阻机设备

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